Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Cryo Cross Section Polisher JEOL IB-19520CCP

Mit dem Cross Section Polisher ist die Präparation von Querschnitten verschiedenster Materialien mittels einem Argon-Ionenstrahl möglich. Bei empfindlichen Proben kann der Vorgang durch Kühlen mit flüssig Stickstoff bei definiert niedrigen Temperaturen durchgeführt werden.

Zusätzlich kann man im Cross Section Polisher eine Nachpolitur von Schliffen mit Argonionen und eine C-Bedampfung für die Herstellung der Leitfähigkeit durchführen.

Dafür stehen verschiedene Halter zur Verfügung.

 

Querschnitt

Die Probe wird in den Halter gespannt und die Blende wird bündig zum Strahl auf die Probe positioniert.

Der Bereich, der unter der Blende hervorsteht, wird mittels des Ionenstrahls weggeschnitten.

Nachpolitur von Oberflächen

Die Probe wird in den Rotationshalter unter minimalem Winkel zum Ionenstrahl positioniert. Dieser trifft die Oberfläche und ebnet die Restrauhigkeit.

C-Bedampfung

Der Ionenstrahl trifft unter einem geringen Winkel auf die Kohlenstofftablette. Dabei entsteht ein Kohlenstoffnebel der sich auf die, gegenüber eingespannte Probe legt.

Je nach Zielanwendung kann man durch verschiedene Spannung und Zeit eine passende Kohlenstoffschichtdicke erreichen. Sie ist jedoch nicht meßbar.

vorhandene Halter

linker Halter: die Probe wird auf einen Metallklotz geklebt, die Probe läßt sich durch einen möglichen Vorschub gut platzieren.

Maximale Probengröße 11 x 10 x 2 mm (b x l x h).

 

rechter Halter: maximale Probengröße 11 x 8 x 3 mm (b x l x h).

Halter

Probe im Halter von vorne gesehen

© ZELMI TUB

Kontrolle des Vorganges auf Bildschirm mit Innenkamera

© ZELMI TUB

Perle vom Schweißvorgang

© ZELMI TUB

braune rohe Eierschale