Querschnittspräparation mit dem Cross-Section-Polisher

csp — JEOL Cooling-Cross-Section-Polisher IB-19520CCP

Mit dem Cross Section Polisher ist die Präparation von Querschnitten verschiedenster Materialien mittels einem Argon-Ionenstrahl möglich. Bei empfindlichen Proben kann der Vorgang durch Kühlen mit flüssig Stickstoff bei definiert niedrigen Temperaturen durchgeführt werden.

Zusätzlich kann man im Cross Section Polisher eine Nachpolitur von Schliffen mit Argonionen und eine C-Bedampfung für die Herstellung der Leitfähigkeit durchführen.

Dafür stehen verschiedene Halter zur Verfügung.

Raum	KWT-A 05

Querschnitt

Die Probe wird in den Halter gespannt und die Blende wird bündig zum Strahl auf die Probe positioniert.

Der Bereich, der unter der Blende hervorsteht, wird mittels des Ionenstrahls weggeschnitten.

Die Breite des Schnittes beträgt ca. 1 mm.

großer Querschnitt

Mit dem Halter für breite Flächen können Querschnitte bis zu 8mm geschnitten werden.

Die Probe sitzt - je nach gewünschter Schneidtiefe - tiefer als im Standardhalter. Dadurch schwingt die Probe tiefer, und es
wird ein größerer Bereich bearbeitet.
Man sollte beachten, dass dadurch die Schneidzeit um ein Vielfaches verlängert wird.

C-Bedampfung

Der Ionenstrahl trifft unter einem geringen Winkel auf die Kohlenstofftablette. Dabei entsteht ein Kohlenstoffnebel der sich auf die, gegenüber eingespannte Probe legt.

Je nach Zielanwendung kann man durch verschiedene Spannung und Zeit eine passende Kohlenstoffschichtdicke erreichen. Sie ist jedoch nicht meßbar.