Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Beschichtungen mit Kohlenstoff, Gold und anderen Metallen

C-Bedampfung

Dünne leitfähige Schichten aus Kohlenstoff werden durch Widerstandsverdampfung von Kohlefäden oder -stäben erzeugt. Dabei wird die Kohlenstoffquelle von einem hohen Strom (ca. 1…5 A) durchflossen, wodurch sich diese stark erwärmt bis hin zu einer Temperatur bei dem Kohlenstoff verdampft.

Die Kohlenstoffbedampfung wird i. d. R. angewendet bei nicht leitfähigen Proben, wenn es um elementanalytische Fragestellungen (EDX, WDX) geht, desweiteren zur Herstellung von dünnen Kohlenstoff-Trägerfilmen für TEM-Untersuchungen.

Die ZELMI verfügt über Kohlenstoff-Bedampfungsanlagen, mit denen sehr feinkörnige Schichten für Abbildungen mit hoher Auflösung hergestellt werden können.

Bedampfung mit Gold und anderen Metallen

Die metallische Beschichtung dient dazu, Proben für die elektronenmikroskopische Abbildung elektrisch leitfähig zu machen. Gold und Iridium sind als Edelmetalle hoher Ordnungszahl besonders geeignet. Es können aber auch, z.B. aufgrund analytischer Fragestellungen, andere Metalle verwendet werden, unter anderem Wolfram, Platin, Palladium, Silber, Kupfer, Nickel, Chrom und Aluminium oder auch Legierungen. Die Entscheidung hängt vom Probenmaterial und der Fragestellung ab.
Die Beschichtung erfolgt in einem Sputterprozess oder über thermische Verdampfung.

Ansprechpartner

Beschichtungen werden von allen Mitarbeitern der ZELMI durchgeführt. Sie führen die Beratung über die Art durch und entscheiden welche Beschichtung notwendig ist.