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Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Präparation

Proben, die mit Hilfe eines Mikroskopes untersucht werden sollen, müssen gerätespezifisch präpariert werden.

Dazu müssen die Bedingungen des Gerätes und der Probenaufnahme bekannt sein:

Probengröße - Probenhöhe bzw. Probendicke - Oberflächenzustand - Leitfähigkeit - Vakuumbeständigkeit 

Für jedes Untersuchungsverfahren sollte die Probe zunächst mit einem Lichtmikroskop betrachtet werden.

© ZELMI TUB

Metallographie

- LIMI: wenige Größenbeschränkungen
- REM: max. 25x25mm, Höhe 10 mm, vakuumbeständig, leitfähig
- MISO: max 25mm Durchmesser, Höhe 8 mm, max. Dünnschliffgröße:
48x25x 1,5mm, leitfähig, vakuumbeständig
- FIB: max 25x25 mm, Höhe 10mm, vakuumbeständig, leitfähig

© ZELMI TUB

Zielpräparation mit der FIB

- Präparation von elektronentransparenten Präparaten und Querschnittsflächen für die Analyse mit (S)TEM und REM
- Lithographische Bearbeitung von Proben