Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Transmissions-Elektronenmikroskop FEI Tecnai G2 20S-Twin

2008 beschafft durch das Exzellenzcluster UniCat (DFG) 2018 STEM-Upgrade durch das Projekt innoKA (BMWi)
Konventionelles Transmissionselektronenmikroskop mit
LaB6-Kathode 200 kV Beschleunigungsspannung TEM-Punktauflösung: 0,24 nm STEM Auflösung: 3 nm

TEM Tecnai G2 20S-Twin (Raum TEM 011)

Das Tecnai ist ein konventionelles TEM, welches 2018 eine Aufrüstung zum (S)TEM erhielt. Es eignet sich, dank EDX System, hervorragend als analytisches Screening Gerät, welches ebenso in der Lage ist hochaufgelöste Untersuchungen zu bewerkstelligen. Aufgrund des vielfältigen Halterfuhrparks eignet sich das Gerät bestens für verschiedene Arten der Untersuchungsmethoden.

Kontakt:

Sekretariat KWT 2
Raum TEM 001
Sekretariat KWT 2
Raum TEM 001

Methodik

  • Konventionelle TEM (BF/DF)
    - Untersuchung der Mikrostruktur, Versetzungen, Korngrenzen
  • Feinbereichs-/konvergente Elektronenbeugung
    -  Kristallstruktur, Orientierung, Phasenidentifizierung
    -  Bestimmung der Probendicke (bei kristallinem Material)
  • HRTEM
    -  strukturelle Analyse im sub-Nanometer Bereich
  • STEM (BF/ADF/HAADF)
    zur Trennung von Material-, Orientierungs- und Dickenkontrasten
    für strahlsensitive Materialien, durch Reduzierung der e-Dosisrate
  • EDX
    -  qualitative Elementanalyse
    -  Punktmessungen sowie Elementmappings und - linescans

Parameter

  • LaB6-Kathode
  • 200 kV Beschleunigungsspannung
  • TEM-Punktauflösung: 0,24 nm
  • STEM Auflösung: 3 nm
  • 5-Achs-Goniometer „CompuStage“  
  • CCD-Kamera US1000 (GATAN Inc., CA, USA)
    -  2k x 2k Pixel
  • STEM-Unit mit DISS6 Scan Generator (Point electronic GmbH, Halle, GER)
    -  minimal 220 ns dwell time
    -  maximal 16000 x 16000 Pixel
    -  Aufzeichung von bis zu 13 parallelen Detektorsignalen
  • STEM-22-4-3-BF15 BF/ADF/HAADF-STEM-Detektor (PN-Detector, Munich, GER)
    -  segmentierter Halbleiter-Ringdetektor mit integriertem BF-Detektor
    -  13 Segmente/Kanäle
  • EDX (EDAX) r-TEM SUTW Detector (EDAX Inc., NJ, USA)
    -  Si(Li) Detektor
    -  Energieauflösung: ≤ 136 eV für Mn Ka
    -  Nachweis ab Element Bor (Z=5)

     
  • Software:
    -  Digital Micrograph für TEM Bildaufnahme und -auswertung (GATAN)
    -  Genesis für EDX-Analysen (EDAX)
    -  DISS6, DIPS für STEM Bildaufnahme und -Auswertung (point electronic) 

Probenhalter

  • Low Background Doppelkipphalter für EDX (FEI)
  • Low Background Doppelkipp Vakuum-Transferhalter (für luftempfindliche Proben) (Gatan)
  • Low Background Cryo-Halter (bis -170°C mit LN2) (Gatan)
  • Einfach-Kipp-Halter (FEI)
  • Triple Einfach-Kipphalter für 3 Proben (Gatan)
  • Dual-Axis Tomographie Halter (Fischione)
     
  • weitere Probenhalter über AG Strasser:
         Einfach-Kipp in situ Heizhalter für MEMS-Chips (Dens)
         Einfach-Kipp in situ LiquidCell Halter (Protochips)