Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Elektronenstrahl-Mikrosonde JEOL JXA-8530F

Die  Elektronenstrahl-Mikrosonde JEOL JXA-8530F mit Schottky-Feldemissionskathode wird primär für quantitative Elementanalysen hoher Genauigkeit und Auflösung  genutzt.

Kontakt:

Methodik

Mit der JEOL  JXA-8530F sind sowohl SE- als auch BSE-Aufnahmen im COMPO- und TOPO-Modus möglich. Sie ist ausgestattet mit 5 WDX-Spektrometern für wellenlängendispersive Elementanalysen und einem EDX-Detektor für energiedispersive Elementanalysen. Es können sowohl WDX- als auch EDX-Linescans und Elementmappings erstellt werden.

Desweiteren ist es möglich, mit Hilfe der Dünnschicht-Software StrataGem die Elementzusammensetzung sowie die Dichte von dünnen Schichten zu bestimmen.

Mittels einer Röntgenquelle (iMOXS) können an der Mikrosonde auch Röntgenfluoreszenz (µRFA)-Untersuchungen durchgeführt werden. Sowohl mit der µRFA  als auch mit den WDX-Spektrometern können Spurenelemente detektiert werden.

Spurenelementanalytik in Glas mittels Mikro-Röntgenfluoreszenz

Blau:  Mit Elektronen angeregtes EDX-Spektrum -> hohe Empfindlichkeit für leichte Elemente  wie Sauerstoff, Natrium und Magnesium

Rot:  Mit Röntgenstrahlung angeregtes EDX-Spektrum -> hohe Empfindlichkeit für schwere Elemente  wie Rubidium, Strontium und Zirkon

Parameter

- Detektierbarer Elementbereich (WDX und EDX):    5B bis 92U

- Auflösungsvermögen bei  Abbildung mit SE-Elektronen:   3 nm

- Qualitative analytische Auflösung:  einige 10 nm

- Quantitative analytische Auflösung:   100 - 200 nm

- Nachweisgrenze:  einige 10 ppm

- Energieauflösung WDX-Spektrometer (LIF-Kristall) :    15 eV

- Energieauflösung EDX-Detektor :    126 eV

- Max. scanbarer Bereich für WDX-Mapping (Stage Scan):  90 x 90 mm

 

iMOXS Mikro-Röntgenfluoreszens-Spektrometer (µRFA):

- Nachweisgrenze:  einige 10 ppm

- Spotdurchmesser Röntgenstrahl auf der Probe:  100 µm

- Informationstiefe:  einige 10 µm