Elektronenstrahl-Mikrosonde JEOL JXA-8530F
Die Elektronenstrahl-Mikrosonde JEOL JXA-8530F mit Schottky-Feldemissionskathode wird primär für quantitative Elementanalysen hoher Genauigkeit und Auflösung genutzt.
Kontakt:
| Raum | KWT-A 01A |
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Methodik
Mit der JEOL JXA-8530F sind sowohl SE- als auch BSE-Aufnahmen im COMPO- und TOPO-Modus möglich. Sie ist ausgestattet mit 5 WDX-Spektrometern für wellenlängendispersive Elementanalysen und einem EDX-Detektor für energiedispersive Elementanalysen. Es können sowohl WDX- als auch EDX-Linescans und Elementmappings erstellt werden.
Desweiteren ist es möglich, mit Hilfe der Dünnschicht-Software StrataGem die Elementzusammensetzung sowie die Dichte von dünnen Schichten zu bestimmen.
Mittels einer Röntgenquelle (iMOXS) können an der Mikrosonde auch Röntgenfluoreszenz (µRFA)-Untersuchungen durchgeführt werden. Sowohl mit der µRFA als auch mit den WDX-Spektrometern können Spurenelemente detektiert werden.
Spurenelementanalytik in Glas mittels Mikro-Röntgenfluoreszenz
Blau: Mit Elektronen angeregtes EDX-Spektrum -> hohe Empfindlichkeit für leichte Elemente wie Sauerstoff, Natrium und Magnesium
Rot: Mit Röntgenstrahlung angeregtes EDX-Spektrum -> hohe Empfindlichkeit für schwere Elemente wie Rubidium, Strontium und Zirkon
Parameter
- Detektierbarer Elementbereich (WDX und EDX): 5B bis 92U
- Auflösungsvermögen bei Abbildung mit SE-Elektronen: 3 nm
- Qualitative analytische Auflösung: einige 10 nm
- Quantitative analytische Auflösung: 50 - 150 nm
- Nachweisgrenze: einige 10 ppm
- Energieauflösung WDX-Spektrometer (LIF-Kristall) : 15 eV
- Energieauflösung EDX-Detektor : 126 eV
- Max. scanbarer Bereich für WDX-Mapping (Stage Scan): 90 x 90 mm
iMOXS Mikro-Röntgenfluoreszens-Spektrometer (µRFA):
- Nachweisgrenze: einige 10 ppm
- Spotdurchmesser Röntgenstrahl auf der Probe: 100 µm
- Informationstiefe: einige 10 µm
Anwendungsbeispiele
