Mikroskopische Analyseverfahren

Unter Mikroskopischen Verfahren versteht man Untersuchungen mit Geräten, die Gegenstände vergrößern und einen Einblick in die Details ermöglichen.
Dieses geht von einer einfachen Vergrößerung bis in den nm-Bereich rein.

- Hochaufgelöste Aufnahmen mit Topografie- und Elementkontrast
- Elementanalyse EDX
- Kristallanalyse EBSD
- In situ Analysen, z.B. Zug-Druck-Modul

- Hochaufgelöste Aufnahmen elektronen-transparenter Proben
- Topografie und Mikrostruktur
- Kristall-und Kristalldefektanalyse
- Elementanalyse EDX
- Sub-atomare Auflösung im HR- (S)TEM

Qualitative und quantitative Elementanalyse mit höchster Ortsauflösung und Nachweisempfindlichkeit

- Hochauflösende REM-Aufnahmen von Querschnittsflächen und deren
vorherige Zielpräparation.
- Hochaufgelöste Rasterionen-Aufnahmen (SIM) mit Topographie- und Channelingkontrast
- Ferner Ziel-Präparation von elektronentransparenter (S)TEM-Proben und lithografische Bearbeitung von Proben

Lichtoptische Aufnahmen mit Topographie- und Elementkontrast

Mikroskopische Analyseverfahren

Raster-Elektronenmikroskopie - REM

Transmissions-Elektronen- Mikroskopie - (S)TEM

Elektronenstrahl-Mikrosonde - ESMA

Analyse mit fokussiertem Ionenstrahl - FIB

Lichtmikroskopie - LIMI

Rasterkraftmikroskopie (RKM)