Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie (ZELMI)

Schichtdickenbestimmung

Schichtdickenmessung mit Stream (Lichtmikroskop)

Schichtdicken bis minimal 1 µm lassen sich lichtoptisch mit der Bildanalysesoftware Stream vermessen.

Schichtdickenmessungen mit DISS (Rasterelektronenmikroskop)

Im Rasterelektronenmikroskop lassen sich Schichtdicken bis minimal 10 nm mit der Software Diss vermessen.

Dünnschichtanalysesoftware StrataGem (Elektronenstrahlmikrosonde)

Wenn  Schichten so dünn sind, dass das Wechselwirkungsvolumen der Elektronen in der Probe in das Substrat hineinreicht (siehe Skizze), kann man die Dünnschichtanalysesoftware StrataGem nutzen, um sich die Zusammensetzung als auch die Dichte der Schicht berechnen zu lassen. Dazu importiert man die bei der quantitativen Analyse mit Standards ermittelten sog. K-ratio Werte der Schicht- als auch der Substrat-Elemente in StrataGem. StrataGem berechnet daraus die Zusammensetzung sowie die Dichte der Schicht, wenn die Schichtdicke bekannt ist. Im anderen Fall, wenn nur die Dichte bekannt ist, berechnet StrataGem die Schichtdicke. 

Dies gilt für Schichten mit einer Dicke von  10nm bis 1 µm.

Die Software ist an der Elektronenstrahlmikrosonde installiert.