Bestandteile des Moduls sind eine Vorlesung und ein Praktikum in den Laboren des Forschungsschwerpunkts Technologien der Mikroperipherik.
Die Vorlesung Herstellungstechnologien für Halbleitersensoren vermittelt die Grundlagen zur Herstellung von Silizium-Mikrosystemen (Mikrosensoren, CMOS, Mikroaktuatoren).