Das Fachgebiet Technologie für Dünnschicht-Bauelemente beschäftigt sich mit Prozesstechnologien für Beschichtungsverfahren, Stukturierung von Bauteilen und deren Anwendungen z. B. in der Photovoltaik, Biomedizin, Elektronik und Industrie. Die Dünnschichten werden mit verschiedenen Verfahren umfassend charakterisiert