Mikro- und Feingeräte

Wissenschaftliche Aussprache - Stefan Kühne

Thema

Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter
Gutachter/Referees: Prof. Dr. h. c. Dr.-Ing. Eckart Uhlmann (TU-Berlin),
Prof. Dr.-Ing. habil. Prof. h. c. Dr.-Ing. E. h. Ekkard Brinksmeier (IWT)
Wissenschaftliche Aussprache/Scientific Defense: 07.09.2017