Der Fokus des Fachgebietes Mikro- und Feingeräte liegt auf der Entwicklung und Realisierung mikrooptischer, -mechanischer, -fluidischer und -elektrischer Teil- und Komplettsysteme. Hierbei umfasst unsere Forschung die Entwicklung von Produkten, Produktionsprozessen und Funktionswerkstoffen.
In der Lehre steht das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte für die fundierte, praxisorientierte Ausbildung Studierender in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnik.
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