Das Zentrum für Nanophotonik (NPZ) unterstützt die Fachgebiete des Instituts für Festkörperphysik und weitere der Fakultät II in den Bereichen Epitaxie, Präparation, Charakterisierung und Prozessierung von Bauelementen. Zum NPZ gehören drei Reinsträume, die in die Reinheitsklassen 4, 5 und 6 (DIN 14644-1) unterteilt sind und eine gesamte Arbeitsfläche von 130 qm umfassen. Im Bereich Epitaxie stehen verschiedene metall-organische Gasphasenepitaxieanlagen (MOVPE) für die Abscheidung von Gruppe III-V-   Verbindungshalbleitermaterialien und Nanostrukturen zur Verfügung.

Das NPZ wird derzeit von Prof. Dr. Stephan Reitzenstein geleitet.

Das NPZ ist in vier Arbeitsbereiche gegliedert:

I.          Epitaxie:                  EW 527/9, 614, 621/22, 625a, b

II.         Prozessierung:        EW K22, K26, K45, 615

III.        Präparation:            EW 612, 613, 617/18, 619

IV.       Charakterisierung:  EW 603; K83F, K10

Eine virtuelle Tour durch den Reinraum des NPZ können Sie auf der Website von Tobi Bohn unternehmen.

Einen Artikel über das Forschen in der staubfreien Zone finden Sie online in der TU intern.