Mikro- und Feingeräte

Aktiv geregelte Präzisionsausrichtung von Stempel und Substrat in einem UV-NIL Prozess zur Replikation stark gekrümmter Beugungsoptiken

Am Fachgebiet Mikro- und Feingeräte wurde in Zusammenarbeit mit den Industriepartnern micro resist technology GmbH und Nano Optics Berlin GmbH eine Replikationstechnologie für stark gekrümmte Beugungsoptiken (diffraktive optische Elemente – DOE) entwickelt.

In der Arbeit soll die Ausrichtung der Formhälften in 6 Freiheitsgraden zueinander steuerungs-technisch realisiert werden. Dafür ist die Beckhoff-Steuerung der industrienahen Maschine zu erweitern. Kern der Arbeit ist die Verarbeitung der Signale der Sensorik um einen Regelkreis aufzubauen. Dafür existieren verschiedene Ansätze, es gilt diese auszuarbeiten und in einen Ablauf zur Ausrichtung zu integrieren.

Es kann sofort mit der Einarbeitung gestartet werden.

Weitere Informationen in der PDF Datei.

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